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玻璃基光刻技术
拥有较先进的光刻技术,线宽线距精度可达10微米可兼容不同尺寸的超薄玻璃基板和液晶面板,产线尺寸覆盖性强,可在500MM*600MM-730MM*920MM之间切换不同尺寸进行生产。
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TGV巨量通孔技术
玻璃通孔(Through Glass Via, TGV),是指在超薄玻璃基板上制作巨量微米级通孔,并实现垂直电气互连。其核心优势在于:高精度(孔径可小至5μm)、高深宽比(100:1)。沃格在该领域布局深厚,是全球少数掌握TGV全制程能力和制备装备的企业,目前已具备TGV玻璃基板的量产能力和年产10万平方米的智能化产线(湖北通格微)。
玻璃基PVD镀铜技术
玻璃基PVD(Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)镀铜技术是一种通常采用真空溅射镀膜或真空离子镀膜方式,在玻璃表面覆盖层铜薄膜的先进工艺。可对应G5尺寸,附着力5B,方阻0.1~0.003Ω。最大镀铜铜厚可达7um,可过大电流。
玻璃基高精密多层布线技术
以玻璃为基底,通过一系列精密加工工序,在玻璃表面或内部制作出具有特定形状和功能的精密线路。
光电玻璃精加工技术
主要包括光电玻璃的薄化、镀膜、黄光、切割等技术和工艺